潔凈室需要將一定范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將無(wú)塵室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),通常根據(jù)實(shí)驗(yàn)室空氣中的顆粒數(shù)量,對(duì)潔凈室進(jìn)行分類(lèi)。
潔凈室的分類(lèi)根據(jù)國(guó)家不同有不同的等級(jí)規(guī)定,目前世界各國(guó)雖有自訂規(guī)格,但普遍還是采用美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)【Federal Standard (FS) 209E, 1992】。
其中需要注意的,A、B、C、D級(jí)別的劃分是參照ISO標(biāo)準(zhǔn)(歐盟采納的方式),其本身包含了靜態(tài)要求和動(dòng)態(tài)要求。舊版GMP采納的是美國(guó)的潔凈間劃分方式,舊版的潔凈間劃分僅有靜態(tài)的概念,不要求動(dòng)態(tài)。
在美國(guó)的聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209(A至D)中,在一立方英尺的空氣中測(cè)量等于或大于0.5mm的顆粒數(shù),并且該計(jì)數(shù)用于對(duì)潔凈室進(jìn)行分類(lèi)。該標(biāo)準(zhǔn)的最新209E版本也接受該度量標(biāo)準(zhǔn)。聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E在國(guó)內(nèi)使用。較新的標(biāo)準(zhǔn)是國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)組織的TC 209。
這兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)都根據(jù)實(shí)驗(yàn)室空氣中的顆粒數(shù)量對(duì)潔凈室進(jìn)行了分類(lèi)。潔凈室分類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)FS 209E和ISO 14644-1要求進(jìn)行特定的顆粒計(jì)數(shù)測(cè)量和計(jì)算,以對(duì)潔凈室或潔凈區(qū)域的清潔度水平進(jìn)行分類(lèi)。
生物潔凈室潔凈度等級(jí)
潔凈度等級(jí)表
潔凈室按空氣清潔程度分類(lèi),如果無(wú)塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來(lái)敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5μm,例如,1級(jí)、10級(jí)、例如100級(jí)無(wú)塵室最大塵埃粒子數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆。
如果塵粒尺寸不是0.5μm,無(wú)塵室等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來(lái)表示,分別分為1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí),數(shù)值越小,凈化級(jí)別就越高。潔凈度越高造價(jià)就越高。
各行業(yè)對(duì)潔凈度等級(jí)的要求
各行業(yè)對(duì)潔凈室的凈化要求也有所不同:
1級(jí):主要用于制造集成電路的微電子工業(yè),對(duì)集成電路的精確要求為亞微米。
10級(jí):主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。
100級(jí):可用于醫(yī)藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等。
1000級(jí):主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測(cè)試,裝配飛機(jī)蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等。
10000級(jí):主要用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬(wàn)級(jí)潔凈室在醫(yī)工業(yè)中也很常用。
100000級(jí):十萬(wàn)級(jí)潔凈室用于很多的工業(yè)部門(mén),比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn),醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用。